根据美国半导体设备暨材料协会（SEMI）与市场调查机构VLSI，日前发表的2002、2003年半导体设备市场预估报告指出，2002年将是半导体设备的景气谷底，而市场将会在2003年复苏。

SEMI是于日本SEMICON 展中，公布最新的半导体设备市场调查报告，指出因为半导体产​​能在需求成长缓慢的状况下，仍处于过度供给状况，因此今年全年晶圆厂平均产能利用率只维持在五成至六成之间，半导体厂也大幅降低资本支出，使得2002年半导体设备市场仅达189亿美元，较2001年的280亿美元规模衰减32％。

SEMI指出，全球各半导体厂2002年均致力于制程技术微缩工程，而至今已获得很大的进展，如0.13微米制程良率已达到平稳量产标准，东芝、英特尔、日立制作所等部份业者，甚至已完成奈米级制程技术的研发；而2003年半导体厂逐步导入新制程，更换光罩步进机（Stepper）、光学微影设备（Lithography）等支出，将可推动半导体设备市场复苏。

SEMI预估，2003年全球设备市场总产值可达218亿美元，较今年成长15％，而2004年更可有21％的成长，达264亿美元规模。