為提升12吋晶圓生產效率，聯電強化單晶圓製程生產能力，與台灣應用材料就12吋晶圓製造展開進一步合作。聯電採用應用材料的相關機台，生產0.15微米製程的晶片，在12吋廠的投資及研發上取得領先地位。

聯電12A廠副廠長廖寬仰於日前表示，12A廠大部分機台在今年3、4月時遷進，聯電過去在8吋晶圓製造上，即採用台灣應用材料的單晶圓製程設備，目前將該經驗移植到12吋晶圓上，聯電12A廠初期生產0.18微米的128Mb DRAM等產品。