由於半導體生產過程一受影響，損失極為龐大，因此如何減低人為疏失所造成的傷害，遂成為廠商關注的焦點。根據Asyst公司總裁凱恩日前表示，3~5年間完全自動化晶圓廠將推出。由於300毫米晶圓若出現人為疏失，代價極為高昂，因此台灣晶圓製造商正致力於推動這方面的發展。

就技術上而言，雖然目前即可達到全自動化，但還是有一些問題要解決。而Asyst公司的SMIF技術所生產的迷你潔淨室系統可以保護晶圓免受人為，環境、力學及化學等的損害。凱恩表示，25萬片300毫米的晶圓價值在100萬美元左右，應該是使用自動化設備來處理或操作，少讓人直接街碰觸這些昂貴的產品。