工研院今日宣布，將「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給今年8月成立的新創公司-兆晟奈米科技，共同與半導體自動檢測廠致茂電子攜手打造半導體前段高階製程。

工研院與新創公司兆晟奈米科技，今天舉行「SuperSizer」技轉簽約儀式。左起工研院量測中心主任林增耀、工研院院長劉仲明、兆晟奈米科技暨致茂電子董事長黃欽明。

兆晟奈米科技公司是由致茂電子轉投資的新創公司，目前已進駐新竹科學園區。兆晟董事長黃欽明表示，兆晟的「新世代溶液奈米粒子監測系統」是非常創新的技術，與致茂電子共同切入半導體前段製程檢測，並已獲准進入新竹科學園區，資本額將從二千萬元增至二億元。目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米，而良率更是先進製程的主戰場，如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制，對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。

此次技轉的SuperSizer技術是由工研院所研發，不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度，可量測的粒子範圍囊括5-1,000奈米，遠優於業界約20奈米的監測水準。此外，根據以此估算，若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染，每提升0.1%良率，預估可增加淨利600萬美元。

工研院院長劉仲明表示，今天的簽約除了展現工研院的前瞻檢測技術的優勢，也是彰顯工研院落實產業化之創新育成實績，工研院最近才從全球百大科技研發獎中抱回九項大獎，這些得獎的技術除了給予團隊高度的肯定外，最重要的是要落實產業化的研發成果。工研院最重要的指標是帶動產業發展，今天移轉的SuperSizer檢測技術亦曾在2015年入圍R&D 100 Awards，給技術團隊很大的鼓舞。