於三月底與英飛凌簽約,將獲該公司0.11微米DRAM及12吋晶圓廠相關技術技轉的中芯國際,近來傳出其北京12吋廠捨棄慣用的ASML設備,將購置四台與英飛凌有長期合作關係的日本佳能(Canon)顯影設備,以全力供應英飛凌產能的訊息。
據工商時報報導,目前全球半導體顯影設備市場大致由日本尼康(Nikon)、佳能及荷蘭ASML三分天下;台灣晶圓大廠台積電一直是ASML的長期客戶,聯電以尼康為主,其餘如華邦、力晶皆以尼康為主,目前佳能在台灣主要客戶為茂德。
茂德當初選用佳能顯影設備,就是因英飛凌與佳能一直有長期合作計畫,英飛凌位於德國德勒斯登的12吋生產線,也是採用佳能顯影設備。而中芯在上海三座八吋廠是以荷蘭ASML顯影設備為主,由於台積電亦以ASML為主要顯影設備品牌,中芯量產之初,一度曾傳言是為爭取台積電客戶前來下單而採用ASML。
此次中芯北京廠改買佳能設備,除顯示北京廠全力配合英飛凌技術移轉的用心,也擺明將來在上海生產的客戶產品並不容易馬上轉往北京生產線生產,北京廠很可能成為英飛凌的長期DRAM代工廠。