據經濟日報報導，備受矚目的台積電八吋晶圓廠赴大陸投資申請案，將於22日於經濟部召開跨部會專案審查會議。據瞭解，由於各界對於該申請案仍有許多爭議，因此儘管台積電八吋廠登陸案大致符合經濟部公告的審查要點，但經濟部應該仍會要求台積電就相關疑點，補充相關文件或再做澄清後，才會給予台積電放行。

台積電赴大陸投資八吋晶圓廠申請案，在2002年9月9日就已提出投資申請，該案的審查但卻被拖延逾4個月，經濟部終於要在22日舉行第一次跨部會的審查會議。

根據經濟部「開放八吋晶圓廠赴大陸投資審查要點」，國內廠商赴大陸投資晶圓廠，必須在國內有新的十二吋晶圓投資，並已進入經濟量產，才准將淘汰的八吋晶圓舊設備申請赴大陸投資。此外，在「總量管制」的條件之下，准赴大陸的舊八吋廠數量限二至三座。

台積電是國內第一個提出赴大陸設八吋晶圓廠的晶圓代工業者，經濟部在上周成立跨部會審查會，並將於22日進行第一次的審查會議。