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晶圓廠為氟化鈣廢棄物傷腦筋
 

【CTIMES/SmartAuto 馬耀祖 報導】   2000年10月19日 星期四

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新竹科學園區半導體晶圓廠面臨「氟化鈣污泥」無處去的難題,儲存二個月的1,500噸脫水污泥,已呈現爆滿的窘況。業者急如星火,除要求園區管理局提供暫存長儲放外,台積電、聯電等十家廠商,也分別與工研院化工所簽約,進行資源化再利用研究。

氟化鈣污泥的產生,主要是電子產業利用氰氟酸進行蝕刻及酸洗的製程,經過中和處理後所產生的事業廢棄物-氟化鈣污泥餅。以往,半導體廠商都是交給有執照的清運處理商,以掩埋方式處理。但是合法事業廢棄物代處理業一家家關門,或是因遷廠營運尚未取得許可等影響,竹科各大晶圓廠已有二個月的氟化鈣污泥餅無法清運。

關鍵字: 台積電(TSMC聯電 
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