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聯電90奈米銅製程正式量產
 

【CTIMES/SmartAuto 謝馥芸 報導】   2003年04月01日 星期二

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聯電近日對外宣布,該公司90奈米銅製程已正式進入量產,聯電成為國內第一家跨入90奈米銅製程量產的晶圓代工廠。另外,台積電去年下半年即對90奈米Low k及銅製程技術進行小量試產,與飛利浦、意法半導體、摩托羅拉、巨積及NEC聯合開發,預計今年第三季導入12吋晶圓廠,明年將首季量產。

聯電宣布90奈米技術量產成功,其90奈米製程採用9層銅導金屬層、三閘氧化層(triple gateoxide)及其它先進技術,均符合高密度及低耗電的新世代晶片需求。台積電技術主管表示,台積的90奈米製程已陸續試產,商品化則需視客戶需求而定。

關鍵字: 90奈米銅製程  聯電  台積電(TSMC飛利浦  意法半導體(ST, ST摩托羅拉  巨積  NEC 
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