ETEL推出全新的精密XY运动平台Vulcano，利用三层堆叠方式可与Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模组搭配完成最多9轴应用，X、Y、Z、Tip-Tilt和Theta方向。由于平台的高度整合弹性，Vulcano非常适合用于晶圆的前制程段，例如：微影堆叠量测技术，关键尺寸以及薄膜量测等等。机械轴承的设计在XY平面与垂直方向提供极高刚性，允许高加减速度(可达2.5g)，最高速度(可达2m/s)，优异的双向重复精度(X轴与Y轴:±250 nm)以及奈米等级的定位稳定性。Vulcano 内建高速高精度控制器AccurET与主动式制振平台QuiET ，能大幅增强精密运动性能。

ETEL全新的精密XY运动平台Vulcano利用三层堆叠方式可与Theta, ZTheta, ZTheta Tip-Tilt模组搭配完成最多9轴应用。

主动式制振平台QuiET , 为全新的主动式制振系统(Active Isolation System)，能消除平台上因运动而导致的工作台和地面于6个自由度方向的振动。为了满足半导体产业于高端应用的严格需求，ETEL的奈米等级稳定性，可消除99%以上的振动，达成史无前例的优越性能。

欢迎于SEMICON Taiwan 2016国际半导体展期间莅临海德汉与ETEL摊位J 2708，实际体验ETEL精密运动平台Vulcano的优异性能。