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台积、联电采应用材料铜制程设备
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2001年02月20日 星期二

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半导体产业景气未明,台积电、联电停止扩充8吋晶圆产能,但加紧投入12吋晶圆研发。设备大厂--应用材料近来积极争取12吋晶圆设备的订单,台积电、联电分别采用其铜导线制程及单晶圆前端制程设备。

应用材料先后宣布,该公司的低K介电常数(铜制程材料)制程获台积电选用,可支持8吋与12吋晶圆厂的铜制程芯片制造,未来此项技术将延伸到0.1微米。还有联电采用应用材料的单晶圆前端制程技术,生产0.15微米制程,延伸应用到12吋晶圆中。

应用材料在1月时,已将一批名为Producer的制程设备交给台积电,并开始和台积电共同合作发展0.1微米制程。台积电主管表示,铜导线制程可提高芯片速度,降低组件功率消耗,但要使用适当的低K介电常数制程技术,发挥铜制程的效能。

關鍵字: 半导体  台積電  联电  应用材料 
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