半導體材料業者羅門哈斯電子材料的研磨技術部門(Rohm and Haas Electronic Materials CMP Technologies)宣佈,一家主要的12吋晶圓廠採用該公司所生產的銅和阻擋層CMP 研磨劑之後,大幅提高了高階製程的總產量。
羅門哈斯指出,該12吋晶圓廠導入該公司EPL2361 銅研磨劑和 CUS1351 阻擋層研磨劑,並配合羅門哈斯的研磨墊及在CMP技術工程師現場協助下所開發的技術之後,除提高了120和90nm技術節點的總產量,也使得凹陷、磨蝕以及與 CMP 相關的缺陷減少了50%以上,壽命延長了300% 以上。
CUS1351是羅門哈斯生產的阻擋層 CMP 研磨劑。EPL2361 是由長興化學工業生產的銅CMP研磨劑;長興化工與羅門哈斯為戰略結盟夥伴。以上兩種研磨劑都能透過通過羅門哈斯電子購買。羅門哈斯電子材料CMP 技術部門總部設於亞利桑那州的鳳凰城,並在全球開展業務,包括在特拉華州紐渥克市和日本的三重縣和奈良縣的製造業務。