中國大陸晶圓代工業者中芯國際(SMIC)首座12吋廠Fab4,傳設備已抵達並即將開始進行裝機作業。據外電報導,中芯12吋晶圓廠將為英飛凌(Infineon)和爾必達(Elpida)代工,預計2004年下半開始投產。
中芯位於北京經濟技術科技園區的Fab4為大陸首座12吋晶圓廠,該公司表示,將在2004年下半進入投產階段的Fab4預計到2005年底每月將可產出2萬片,但並未透露晶圓廠設備內容和設備供應商。中芯尚有一座興建中的12吋廠Fab5,然中芯並未透露何時Fab5將進行裝機。中芯目前在上海另有3座8吋晶圓廠Fab1~3,製程在0.13~0.35微米之間。
據了解應用材料(Applied Materials)應是中芯12吋廠設備最大贏家,2003年12月應用材料曾獲得1億美元的設備訂單,推測該訂單買主應是中芯。此外,荷商ASML、佳能(Canon)、科磊(KLA-Tencor)和科林(Lam Research)等半導體設備大廠,應亦曾接獲中芯12吋廠設備訂單。