冲电气集团（OKI）旗下的提供可靠性评估和环保技术服务的冲工程技术株式会社（社长：浅井裕，总公司：日本东京都练马区，以下简称“OEG”）向半导体生产厂商安森美半导体（ON Semiconductor）公司（社长：Keith D. Jackson，总公司：美国亚利桑那州凤凰城）欧洲工厂再次提供常压CVD※1生产设备专用排气处理设备“KGT-3MM-AP”。该设备采用不易堵塞的独特构造的过滤器，实现长期免维护的运营模式，可为半导体生产厂商提高生产效率和保护环境作贡献。

Power FET※2和IGBT※3等功率器件（power device）在制造过程中，半导体绝缘膜的生产离不开常压CVD生产设备。但该生产设备要使用对人体有害的气体，所以必须进行排气处理。

OEG的排气处理设备“KGT-3MM-AP”采用不容易发生堵塞的特殊不锈钢过滤器，既提高了有害气体和微粒的处理能力，又可以长期免维护运营，可减轻设备维护人员的负担。另外，该设备还安装有微压计，通过排气扇变频控制确保排气压力保持稳定，从而保证长期稳定运行。

2009年，作为天谷制作所（社长：吉冈献太郎，总公司：日本埼玉县越谷市）生产的连续常压CVD生产设备所配备的排气处理设备，OEG首次向安森美半导体提供了“ KGT-3MM-AP”。该设备投入使用后，连续作业无故障，保证了CVD膜的稳定生产，得到安森美半导体的好评，再次被该公司欧洲工厂采用。 OEG此次提供的设备，在原有基础上新增加了设备自动恢复作业功能，省去了以往常压CVD生产设备维护时造成设备内部压力急剧变化而要手动重新启动排气处理设备的作业，提高了客户的生产效率。

OEG今后将继续在欧洲和东南亚开拓市场。

【KGT-3MM-AP规格】

产品名称：常压CVD生产设备专用排气处理设备

KGT-□MM-AP （□：1、3、10、特殊型号）

处理能力：□m3/min （□：1、3、10、特殊规格）

压力控制：－0.15 ～ －0.40KPa范围内的恒定负压，或，保持指定负压

用途：常压CVD、太阳能电池、芯片制造