全球性半導體製程設備、技術及支援服務供應商-FSI International宣佈推出EcoBlend Processes新的稀酸清洗製程，以最具經濟效益及符合環保的方式去除灰化後殘留物。這個全新系列的化學製程最適合鋁和鎢導線清洗應用，為半導體製造廠商提供可取代成本昂貴特殊化學配方的另一選擇。

半導體製造廠商執行後段製程灰化後清洗時，傳統上會先利用胺(amine)、螯合劑(chelating agent)、表面活化劑和其它昂貴原料構成的混合溶劑進行清洗，再用異丙醇將溶劑洗濯乾淨。現隨著晶圓廠致力降低灰化後清洗應用成本，半導體製造廠商也被迫尋找其它清洗用化學藥劑做為替代品。稀酸混合溶液最近已被證明能在有效去除灰化後殘留物的同時，將氧化蝕刻減至最少，又不會造成金屬導線腐蝕。

FSI的EcoBlend製程使用的硫酸、雙氧水和氫氟酸都是晶圓廠常見的化學藥品，並能由FSI的ZETA和MERCURY等噴霧式清洗設備就地混合稀釋。由於客戶不必購買預先調製的配方，故能進一步降低成本。

FSI主席暨執行長Don Mitchell表示：「FSI擁有豐富的製程知識和經驗，這從EcoBlend清洗製程就能獲得證明。致力於發展更先進的表面處理技術是我們一貫努力的策略目標，而這些符合經濟效益和環保要求的製程就是此一策略的最新成果。另外，我們也協助客戶晶圓廠執行製程最佳化與整合，為半導體製造廠商帶來許多彈性、低成本且具擴充性的解決方案。」