CyberOptics Semiconductor, Inc. 12日宣佈其體積更小的高效能晶片映射感測器上市，該產品適合空間有限或希望感測器的佔用空間較小的應用場合。與標準EX-Q一樣，EX-43QS和EX-73QS感測器採用了反射雷射技術，最佳化了感測器的光學平面幾何，完全消除了FOUP，暗盒或其他晶片出現雜散反射的可能性。

這些感測器可以迅速和可靠地檢測到任何類型的晶片，不論晶片的直徑、邊緣形狀、厚度或表面塗層如何。它們採用經過微調以獲得最大敏感性的雷射發射器和接收器，在出廠增益設定時的暗晶片檢測能力突出，並與任何尺寸（包括 300 mm）的平坦或齒形晶片相容。EX-QS採用一個極薄的(0.05 mm)雷射條帶結合多個光圈和空間過濾來降低噪音和確保在一個增益設定時穩定地檢測薄的和交叉開槽的晶片。

這些感測器對來自映射環境的干擾不敏感，因為它們所採用的專利性雙重寬光束技術和內建的保護濾光片可最大限度地減少雜散反射和熒光的影響。EX-QS 感測器不包含運動部件，因而消除了被微粒沾染的任何可能性；且由於採用了反射技術，該感測器屬於一種無干擾裝置，減少了晶片在映射過程中被損壞的幾率。