石英晶體元件廠商Epson Toyocom公司,已開發出高性能的小型石英式大氣壓力感應器。新感應器採用QMEMS技術支援特殊原創的壓力感測結構,體積僅12.5 cc,重量僅15 g,卻能精確至10 Pa或約1/10,000 bar之內,且擁有0.1 Pa的解析度。此項全新開發的產品,預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於2008年九月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此一技術,並隨後在十月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)於台灣愛普生科技攤位(K006)展出。
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Epson Toyocom推出採用QMEMS技術支援特殊原創的壓力感測結構的石英式大氣壓力感應器 |
過往,壓力感應器大多為了能有精巧的外型而犠牲其性能。因此,需要高效能的應用裝置往往必須採用較大的結構。然而,Epson Toyocom的新型石英式壓力感測器卻能在極小的封裝產品中,同時提供高準確度和高解析度,這都要歸功於英叉式(tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率,以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構。
新型壓力感測器的效能與特色將為裝置設計人員帶來相當大的幫助,可縮減裝置外型尺寸,並大幅提升各種氣象及安全性應用裝置的效能。這些應用將包含在氣象觀察中準確測量大氣壓力的應用裝置、藉由大氣壓力變化測量高度差異(大約每增加1 cm)的應用裝置、偵測因內部門窗開關所造成之內部壓力輕微變化的應用裝置。