愛普生(Epson)日前宣佈，開發出三種全新系列的精巧型石英振盪器產品。新的SG-210S*H系列振盪器尺寸為2.5 mm x 2.0 mm，能在80 MHz至170 MHz的範圍內以穩定的高頻基本波振盪。

愛普生開發出三種全新系列的精巧型石英振盪器產品

近幾年來，更為快速的數位設備及更高的網路承載容量，促成更高頻率運轉時脈的使用需求。但是，大部份用來做為時脈源的高頻石英振盪器，都是7.0 mm x 5.0 mm的大封裝。此外，常見於這些產品中的石英晶體(共振器)，多是以三階諧波模式運作，其穩定性是次於基本波的。因此對於更小型、更穩定高頻率石英振盪器的市場需求便因應而生。

為回應此一需求，Epson運用其QMEMS技術，將石英材料與微機電系統技術結合，推出SG-210S*H系列產品。本系列產品中的振盪器配備內建的石英晶體，能以極為穩定的基本波振盪，不僅其封裝後的大小僅2.5 mm x 2.0 mm，同時，與現有同等Epson產品相比，耗電量約降低70%。

藉由使用光學微影QMEMS製程，能削薄靠近勵磁電源(電極)的石英晶片內的特定區域，建立出一個蝕刻技術(inverted-mesa)的結構，以達到高頻率基本波的小尺寸及高穩定性。相位抖動的典型值為0.3 ps，對於高速時脈源的這項重要特性來說，是非常低的數值。