德商達思公司( DAS Environmental Expert GmbH ) 不僅提供半導體業客戶廢氣處理解決方案，同時也將已安裝的系統與獨立的中央監控系統連線。隨著工廠產能的增加，許多客戶逐步成長並擴展廢氣處理系統。達思廢氣處理事業部總監Guy Davies博士表示：「我們的解決方案以智能監控工具連接達思和所指定的協力廠商系統。2013年，我們全面重新設計了廢氣處理系統監控工具DASMON ，目前並已成功地安裝於其中一家國際級客戶。當擴充現有廠房時，舊式的DASMON系統往往受限於大量的連接點，然而新版DASMON非常易於擴充，即使是連接到大規模的廢氣處理系統時亦不成問題。相關的擴充非常快速，且不會因維護作業造成製程中斷。」

達思DASMON監控系統升級高效處理晶圓廠大量數據

“自助型系統”

達思軟體可讀取系統中的所有相關數據資料並自動加以評估。 DASMON使其可監控每伺服器達200個系統，不僅不會產生任何問題，並可透過額外的伺服器輕易擴充。 目前最大的監控設備區可包含300個系統。透過每日收集和分析1200萬筆數據記錄，將可識別隨時間變化的趨勢，而提供最佳的服務。當發生任何零組件異常時，相關的環保技師將立即加以處理。

達到高效率製程的智能軟體

Davies表示：「客戶所面臨的最大挑戰之一，是已安裝廢氣處理系統的維護，因為對於客戶的服務通常就意味著中斷正在進行的操作。達思的軟體解決方案可將維護相關的流程中斷降至最低。透過相關工具，設備的進步可使傳統的預防性維護提升為預測性維護，單一元件不需定期替換或調整，但維護需求將直接透過訊號通知系統。服務技術人員可從單一監視器畫面監視所有已安裝的系統，並在其中一個必要參數發散時一眼認出，這就是我們如何鎖定介入。透過此次創新，達思的監控工具將可降低維護相關的中斷情況，並支援製程和成本最佳化 。從十個系統起 - 或任何數量的非中央安裝廢氣處理系統 - 使用DAS監控系統將使營運成本顯著下降。」

適用於所有系統的單一工具

達思解決方案相當易於安裝，其友善使用者介面更能在不需調整任何軟體的情況下，輕易地整合不同製造商的方案。根據所收集的數據，達思將於每季發布軟體更新訊息，以不斷調適監控工具，使其滿足不同客戶的特定需求。 自2013年4月，就在開發階段僅僅一年之後，相關的解決方案便成功獲得其中一家歐洲客戶採用，而所降低的成本和提高的效率，更證明該智能監控工具的真正競爭優勢。