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SARS与晶圆厂 谁比较毒?
 

【作者: 謝馥芸】2003年06月05日 星期四

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讲到SARS,人人闻风色变。但讲到晶圆厂,大多人却没什么反应,直觉以为晶圆厂很安全。我可以告诉你,晶圆厂真的很安全,至少就防SARS来说,就胜过外面的医院及其它防疫单位。


且说为什么就防SARS来说,晶圆厂比外面安全。首先,只要晶圆厂在员工走进公司大楼前,做好量体温、戴口罩的措施,基本上已达到一般防疫的条件。请注意!现在我们还没走进真正的晶圆厂喔!这只是办公大楼的防疫措施而已。


然而真正走进晶圆厂时,可不是开个门就可以进去的。首先先走进更衣间,穿上防护衣、帽、鞋,然后再戴口罩、防护眼镜及手套,如此基本配备完成。不过,还没完喔!现在得进入除尘室吹一阵子风,确定你是「一尘不染」,不会带尘埃去破坏晶圆后,才能放行进无尘室。


如果以为这样就大功告成,那又错了。进入无尘室,真正存在于晶圆厂的空间后,所有员工(包括技术员、工程师、技工、工安等),全部不淮在无麈室里「跑」,以免让灰尘飞起。无尘室的空调设计,主要是由上往下流动,所以空气是往下跑,以促使室内尘埃的活动率达到最低。


晶圆厂的所有员工在进出无尘室的同时,通常得不断​​的更换口罩及手套,因为口罩接触过口部;手套则因工作久了,手容易出汗,手套变得黏腻难用。无尘衣、头套及鞋子则时常清洗,务必时其保持高洁净度。而这些工作,都是SARS还未出现前,就已行之多年的政策。所以啰! SARS再毒,在晶圆厂层层把关及严格管控下,SARS很难在拥有上千人的晶圆厂里进行口沬传染。


话说回来,多年来晶圆厂一直执行严格的安全管控,务使所有危险降至最低点,原因何在?比起SARS病毒,晶圆厂里面存在的危险因子更要可怕几倍。晶圆厂的员工最常受到的威胁,就是毒气及酸液的侵害,然而这样的危险,有时必须在日积月累下慢性地在人体内发展,才有可能构成可怕的危害,不像SARS那么立即性的发病,结果人们反而怕SARS不怕晶圆厂,真是令人十分费解啊!


记得去年半导体设备展,笔者走访几家设备厂的摊子,其中一间设备大厂为我详细解说最新、最高科技之12吋晶圆厂用设备的特色及优点,当时我忍不住好奇询问,这样的设备已达到完全自动化,那员工在更换机台的酸液时,就不用直接接触酸液了?业者的回应却是:「不可能做到完全不用碰酸啦!再怎么自动化,还是得依靠人力,才能为机台换酸的。」


想起一位在国内某家知名DRAM厂当设备工程师的朋友,在有次闲聊中,他展示了身上的伤痕,以及说明他如何在晶圆厂遇到的危难中死里逃生。相较于SARS的威胁,这些在晶圆厂工作的人的真正恐惧,早在一开始进入公司时就已形成,因为在这样的环境下工作多年后,不知身体会不会有又出现什么可怕的症状。员工之间口耳相传,传闻某间大型医院来新竹设院所后,接到的单一癌症病患的机率提高许多;或者谣传在晶圆厂工作久了后,生女儿的机率比生儿子还高。


那么晶圆厂的人需要防SARS吗?当然需要啊!只是他们平常已进行多样化的防护措施,现在可能得再换成:防菌口罩改用活性碳口罩,无尘衣具得每天清洗。


(谢馥筠)


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