金屬中心展示十大前沿技術 聚焦高階加工、精密製造與數位醫療

為推動金屬產業技術創新與高值化發展，助攻產業升級，金屬中心近日舉辦年度「先期研發成果發表會」，以線上直播方式向業界展示最新研發成果。此次共發表10項前沿技術，涵蓋「高階金屬加工」、「先進精密製造」與「數位輔助醫療」三大主軸，並同步釋出逾百件專利技術，展現中心在跨域整合與產業升級推動上的強大研發能量。

圖一 : 金屬中心成功開發臺灣首台單腔雙製程PECVDPEALD整合設備，針對穿隧氧化層與背鈍化層進行高均勻性沉積，已完成效率與良率驗證，並且具量產應用潛力。

在高階金屬加工方面，金屬中心展示「碳化物組織控制模組技術」，可精準調控球墨鑄鐵中碳化物的形貌、分布與含量，兼顧耐磨、硬度與韌性，縮短開發期30%、提升壽命40%，適用於農機、襯版與齒輪等高強度耐磨構件。此外，「成形製程監測模組技術」結合數位伺服沖壓補償與品質監測分析，能夠有效提升高階金屬製品的精度。「整合型電液致動器開發技術」則突破能量密度與壓力穩定性瓶頸，具2.2kW/kg能量密度與5000psi運行能力，具備航空、能源及深海裝置的應用潛力。另項「智慧化光譜監測PECVD/PEALD整合設備」具有台灣首台單腔雙製程系統，透過智慧化光譜監控辨識異常與潛在風險，大幅提升製程穩定性與效率。

在先進精密製造方面，金屬中心以「微粒子表面拋光技術」延長模具與刀具壽命，並降低表面粗糙度，可提升產能逾20%。「離子氮化熱處理技術」針對複雜形狀的塑膠射出模具進行高效處理，在不影響基材的前提下提升硬度與加工效益。而「靜電吸盤流道設計與最佳化技術」則改善半導體製程中的晶圓溫控均勻性，進一步提升良率與元件效能，對先進製程具實質助益。
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