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缺水的科技產業 如何解渴?
 

【作者: 謝馥芸】   2003年09月05日 星期五

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2002及2003年的台灣旱象,一場反聖嬰現象的災難,仿若世紀初的地球氣候亂象,不但民生用水漸漸不足,就連台灣的經濟命脈-科技產業也要叫苦連天了。水,看似廉價品,當乾旱來臨時,更彰顯出其珍貴處。尤其對業界而言,無水,製程又如何繼續呢?


那麼,水對科技業界有何用途?以晶圓廠為例,在所有的製程中,以爐管、蝕刻的需水量最大;由於製程中的晶圓需要大量的純水清洗雜質,光在爐管與蝕刻等製程,所需的超純水水量約佔總水量的60%~80%。進入奈米製程後,製程需水量更是有增無減,然而用水規格高,普遍而言,目前大部分的純化系統都不敷使用。


就目前二大需水量大的產業-半導體業與TFT-LCD研究,根據水利署資料顯示,2002年半導體業一天用水量為9.3萬噸,TFT-LCD業的一天用水量為6萬噸;2006年時,國內半導體業用水量將成長為一天16.5萬噸,而TFT-LCD業成長幅度更大,一天即達22.8萬噸。


據了解,目前的新竹科學園區每日用水量約為11萬噸,預計2004年最終用水量將為16萬噸。自2002年台灣發生缺水的困境後,許多業者只能靠買水解決工廠運作問題,2003年的狀況仍未比去年佳,若依照園區用水量的成長模式來看,2004年的旱象將更加嚴重,對我國產業不疑是一大打擊。


根據國科會針對缺水對園區之影響分析,園區供水量不足10%,將通報缺水警訊;供水若不足20%時,近半數的製程機台將停止運作;一但供水達到30%以上,園區內大部分晶圓廠的機台勢必完全停機,限水措施將嚴重衝擊業界,造成無可計數的損失。


為解決缺水問題,我國產業節水研究最具代表性的單位,即為工研院能資所。能資所即與美國半導體產業技術研發中心(NSF/SRC ERC for Environmentally Benign Semiconductor Manufacturing)合作「奈米產業超精微製程省水及回用技術」,即強調二個特點,一為廢水資源化,其二則是將製程水回收後用於奈米製程用水,預計使國內IC、LCD產業每年可節水500萬噸,相當於四座12吋晶圓廠的建廠需水量。與業界合作方面,去年力晶半導體即與能資所合作「12吋晶圓廠奈米級水資源再生計畫」,12吋晶圓廠總計耗資新台幣10億元以上,建置製程用水及廢水回收處理設備,該公司並自訂目標為85%的廢水回收率。


隨著半導體、TFT-LCD、奈米材料、生醫科技、精密機械模具等產業邁向精微、奈米化的過程,其所需要的大量用水,將讓台灣付出高昂的代價:要不就花大錢做一套節水措施,要不就準備一起渴死。積極的做法是做好節水系統,也可達到省水、環保的效果,為自己的廠房節省水成本;消極一點,則是想像自己是農人,得看老天吃飯,老天爺要是不下多點雨、刮幾次夾帶大雨的颱雨,就得隨時有心理準備配合政府的限水措施。往其它方面想,世界各地並不只有台灣缺水,所以公司外移也解決不了根本問題。最後的辦法-不如去跳祈雨舞吧!


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