随着人工智能(AI)、高效能运算(HPC)与异质整合快速发展,先进封装已成为半导体产业的竞争前沿。然而,随之而来的挑战也愈发严峻:高功耗晶片带来的热管理压力、超薄晶圆加工下的临时接合与剥离(TBDB)难题,以及多层封装堆叠导致的翘曲控制,都正考验着产业的制程能力。
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| ERS未来将持续耕耘台湾半导体设备市场。 |
在这样的背景下,德商仪艾锐思半导体电子公司(ERS electronic)於 SEMICON Taiwan 2025 针对这些痛点提出解决方案。执行长 Laurent Giai-Miniet 表示,台湾市场已贡献公司近半营收,未来将持续深耕并透过竹北展示中心及在地工程团队,协助业界面对新世代制程需求。
AI 加速器、GPU 以及高频宽记忆体正推升单颗晶片的功率密度。测试过程中的散热若不足,不仅影响数据准确度,更可能造成元件损伤。ERS 长期专注於温控技术,其 Thermal Chuck Systems 具备高达 2.5kW 的散热能力,已能应付现阶段高功率装置测试需求,确保良率与可靠度。
在超薄晶圆与面板级封装(PLP)的应用中,临时接合与剥离的精度直接关系到良率。传统机械式剥离常导致应力不均甚至晶圆破裂。ERS 则透过 LumosON 光学剥离技术,降低应力风险,并支援扇出型封装、HBM 及 CoWoS 等先进制程,提升封装一致性与可靠度。
在异质整合封装下,多层堆叠结构常伴随翘曲与变形,影响後段组装与产品品质。ERS 以专利非接触式传送技术结合 3D 翘曲量测工具 Wave3000,提供完整的形变检测与修正方案,帮助制造商有效掌握结构稳定性。
随着制程迈入 AI 与异质整合时代,产业焦点已不再仅是晶片设计与运算效能,而是如何在制造与封装阶段维持可靠度与稳定性。ERS 的解决方案正是针对这些挑战而来,从热管理到翘曲控制,都是产业迫切需要的「关键支柱」。