根据外电消息,次波长蚀刻技术供应商Numerical,日前与三星电子(Samsung)签署授权协议,三星将以Numerical的相移技术(phase-shifting)生产新一代的SRAM,预计明年初开始投产。 Numerical表示,该公司之相移技术,透过现有的光学显影设备,供半导体厂生产各种次波长IC。
Numerical表示,Numerical相移技术是可实际销售的相移技术,此技术曾与248奈米蚀刻设备同被应用于实验室,生产9奈米电晶体元件。
针对将次波长技术透明地嵌入设计至晶片制程中,Numerical主管Dr. YC Pati于今年十月表示,Numerical开发相关技术方案和产品,藉由关键制程转换,以较为经济的成本扩展基础设施。另外,Numerical还与主要伙伴合作扩展设计至晶片的领域。 Numerical Technologies已经宣布其第二季的收入较预期减少近20%。