欧洲电子元件与系统领先计画（Electronic Components and Systems for European Leadership，ECSEL）企业联合会在义大利罗马欧洲奈米电子论坛期间宣布，Lab4MEMS 专案荣获该组织2016年度创新奖。

Lab4MEMS即被认定为下一代微机电系统（MEMS）产品关键核心技术试生产线专案，获欧洲创新大奖。

在2014年1月专案成立之初，Lab4MEMS即被认定为下一代微机电系统（MEMS）产品关键核心技术试生产线专案。新一代MEMS采用先进技术提升产品性能，例如，采用压电或磁材料和3D封装技术强化下一代智慧感测器、致动器、微泵和能源回收装置的性能。在资料存储、印刷、医疗保健、汽车、工控和智慧楼宇，以及智慧手机和导航装置等消费性电子应用领域，这些技术对提升产品性能有重要之贡献。

Lab4MEMS专案协调暨意法半导体欧洲研发与公共事务专案经理Roberto Zafalon登台领奖并发表获奖感言。他表示，「ECSEL创新奖彰显Lab4MEMS专案小组透过专案执行取得的优异成果和成功产生巨大影响力。特别值得一提的是，Lab4MEMS利用压电和磁材料以及先进3D封装技术开发出创新的MEMS解决方案。」

Lab4MEMS是一个2,800万欧元且为期36个月的大型专案，作为专案负责人，意法半导体负责专案协调管理工作，专案小组共有20个成员，包括来自十个欧洲国家的大学、研究所和科技企业。意法半导体在义大利和马尔他的MEMS工厂为下一代产品贡献了从设计制造到封装测试的全套制造能力。

这些成果有助于Lab4MEMS专案开发，同时还可以回报投资人。专案参与者包括以下高等院校、科学研究机构和工商企业：Politecnico di Torino（义大利）；Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia （义大利）；Politecnico di Milano（义大利）；Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica（义大利）；Commissariat a l'Energie Atomique et aux energies alternatives （法国）；SERMA Technologies SA （法国）；意法半导体有限公司（马尔他）；Universita ta Malta （马尔他）；Solmates BV（荷兰）；Cavendish Kinetics BV （荷兰）；Okmetic OYJ （芬兰）；VTT（芬兰）；Picosun OY （芬兰）；KLA-Tencor ICOS（比利时）；Universitatea Politehnica din Bucuresti （罗马尼亚）；Instytut Technologii Elektronowej（波兰）； Stiftelsen SINTEF（挪威） ；Sonitor Technologies AS （挪威）；BESI GmbH （奥地利）。 （编辑部陈复霞整理）

Lab4MEMS产品、技术和应用改善重点

‧采用压电薄膜（Piezoelectric Thin-Films，PZT）技术在使用矽的MEMS上整合微致动器、微泵、感测器和能源回收器，适用于资料存储、印刷、医疗保健、汽车、能源回收和自动对焦镜头。

‧磁强感测器，用于消费性电子产品，例如：GPS定位、室内导航和手机。

‧先进封装技术和垂直互联方法，包括透过倒装晶片、矽穿孔（Through Silicon Via，TSV）或树酯晶圆穿孔（Through Mold Via，TMV）的全3D整合，适用于消费性电子和医疗保健设备，例如，人体姿态及生理数据反馈感测器和远端监视。