聯電集團董事長曹興誠表示，8吋晶圓廠每公噸用水可創造的產值是綱鐵業的15倍、石化業的10倍：每瓩的用電可創造的產值，晶圓廠是鋼鐵業的7.2倍，是石化業的1.98倍：每公頃用地創造的單位產值，8吋晶圓廠是鋼鐵業的87倍，是石化業的42倍。從各項數據比較，政府都應該鼓晶圓廠的投資。

曹興誠表，政府取消半導體租稅優惠商能提出正確的理由，半導體產業願意接受，但如果理由似是而非，就將一年研發費用數10億元，甚至上百億元的半導體公司的列為基礎工業，顯然無法讓人接受。