工研院能資所、力晶半導體、交大電子所、國家奈米元件實驗室等產學界單位，近日與美國半導體環境友善生產製程研發中心（ERC），共同簽訂「12吋晶圓DRAM奈米製程環境友善關鍵技術國際研發計畫」合作備忘錄，為國內建構了「多邊性國際合作及國內產學研合作機制」的策略聯盟。

此項策略聯盟，由工研院能資所主導計畫及協調各執行單位，並在符合奈米製程的規格需求下，研究更環保、更省資源、更低污染排放的新式製程及材料，以求達到更好的製程效率。該計畫主持人金光祖表示，短程由基礎性的研究建立Know-why的Knowledge Base，使Know-how運作更為順暢；中程以製程流程優化及降低生產成本的可行方案；長程希望能掌握奈米製程的關鍵技術之發展趨勢及知識。目前研究的內容先針對高介電閘極製程（High-k Dielectrics）、晶圓表面清洗製備（Surface Preparation）、化學機械研磨（CMP）等課題，未來將規劃擴大到其他的前瞻製程技術研發。