世界半導體協會(WSC)年度CEO會議於日本京都舉行，會後並公佈WSC在温室氣體全氟化物(PFC)排放減量之努力成果。世界半導體協會(WSC)指出，就WSC全球半導體製造廠目前在温室氣體全氟化物(PFC)排放減量上的努力與成果看來，應可達成其在2010年之排放減量目標。

在WSC運作體系之下，來自歐盟、日本、韓國、美國、及台灣之半導體協會，於1999年即承諾，在2010年前將PFC排放量，對照各地區之基準年數據（台灣為1997與1999之平均值），減少百分之十排放量。目前WSC所公佈之歷年PFC排放量數據顯示，目前減量水準稍微超前預估之減量進度。

WSC今年輪值主席，日本瑞薩半導體(Renesas)總經理暨營運長Satoru Ito先生表示，WSC會員在PFC減量上之努力，實為大家共同合作之優異成果之一。在半導體製程中PFC是不可或缺的化學物質，WSC會員協會及其會員仍十分積極地致力於PFC之排放減量，以期儘量減少其對環境的衝擊。過去十年，在PFC排放減量努力中，也很高興能得到設備及材料供應商之支持與配合。台灣半導體產業協會黃崇仁理事長亦表示，相較於其他WSC會員協會，台灣的半導體產業仍然快速成長，相對地所承擔之減量壓力也比較大，但是台灣的半導體廠商仍然全力支持此計畫，努力去達到這個目標。

半導體產業在乾蝕刻(dry etching )及化學氣相層積反應腔清洗(CVD chamber cleaning processes)製程中須使用到一些全氟化物PFC氣體。業者採取了一些措施來減少PFC之排放，包括製程最佳化(process optimization)，使用替代化學品(alternative chemicals)及替代製程，以及管末削減處理設備(abatement systems)等。

WSC五個會員協會建立了一套報告機制來持續監督PFC之排放量。透過一年兩次之工作小組會議，WSC會員彼此合作並分享各地區PFC減量計劃及相關數據。WSC會員也在每年之國際半導體環安衛研討會中(International Semiconductor Environment, Safety, Health Conference)分享PFC減量相關技術之資訊。因為PFC減量計劃不具業務競爭性，會員因此可自由地分享其在減量技術及策略上之相關資訊。