半導體產業單晶圓溼式清洗解決方案的設備供應商SEZ Group宣布其已接獲來自晶圓製造商訂購超過12台Da Vinci平台的多機台訂單。這些來自既有與新興的先進晶圓代工廠商客戶之訂單,繼先前韓國的訂購之後,進一步提昇了SEZ在亞太地區發展的潛能。
此外,由於有些客戶致力於記憶體裝置的製造,這些訂單強調了Da Vinci平台在記憶體產業做為提昇至單晶圓濕式製程的催化劑角色。雖說邏輯晶片製造商帶動了這項轉移,但記憶體廠商與晶圓代工廠也開始尋求單晶圓應用為其高階製造運作帶來成本與效能的利益。多年前SEZ將其核心能力移轉至單晶圓技術時便已預見這項趨勢,同時並拓展了其產品系列。不久前,SEZ發表了與記憶體廠商共同開發的Da Vinci平台雙面製程模組DV-38DS,將原有DV-38系統內的八個標準反應室換成八個雙面製程模組,讓晶圓正面聚合物與背面有機物/粒子可同時被高效清除。
SEZ執行副總裁暨執行長Kurt Lackenbucher表示,「亞洲結合SEZ的Da Vinci系列。Da Vinci平台目前佔了SEZ總營收的百分之六十以上,其中超過一半在日本與亞太地區裝機。明顯的,這兩股力量快速推動了我們單晶圓技術的採用。我們十分期待SEZ在產品涵蓋地區內持續的成功,希望即將推出的新平台可以像Da Vinci系列為晶圓後段製程帶來的價值一樣, 替前段製程帶來同樣的貢獻。」