据外电报导，The Information Network最新报告指出，全球微影设备市场2002年规模将下滑至32亿美元，出货量亦将衰退达433台，不过2003年微影设备市场可望复苏，回复至43亿美元的规模，比2002年增加25.6％，出货量亦将成长达547台。

The Information Network总裁Robert Castellano表示，目前半导体厂商仍持续缩减设备采购支出，预估在2003年厂商积极进入90奈米生产制程的同时，也会增加高阶设备的采购。

该报告也预估2002年全球微影设备商排名将出现异动──荷兰ASML营收将超越日商Nikon，成为全球最大微影设备供应商；2002年ASML全球市占率将达49％，Nikon将达36％，Canon则将达15％，并成为全球第三大微影设备供应商。

而若以出货量为基准，ASML及Nikon 2002年微影设备出货量将不相上下，约170台。该报告估计，2002年全球第一及第二大微影设备供应商的市占率比重分别为41％、40％；Canon仍将居第三大供应商。