根據市調機構The Information Network最新報告指出，2002年下跌8％的晶圓廠自動化設備市場，預估可在2003汰換潮將屆之際將自谷底反彈，出現超過15％之成長幅度，達到5.02億美元規模，且在2004年達到高峰。

The Information Network總裁暨分析師Robert Castellano指出，處理材料運輸系統的晶圓廠自動化設備市場波動幅度極大，根據資料指出，該市場曾在1998年時下滑超過50％，而在1999年時僅回升6％，與同期全球半導體設備市場與IC市場成長率相比，成長幅度遠遠不及。

該市場在2000年時成長幅度曾超過80％，但然在2002年時又下跌8％，同期整體前端設備市場下滑26％，顯示晶圓廠自動化設備市場成長時點與整體半導體市場頗不一致。

Castellano指出，由於全球晶圓廠自動化設備從2000年以來便處於低度投資的條件下，儘管目前大環境景氣仍持保守，仍觸動晶圓廠自動化設備汰換潮出現，預估2004年將可再成長26％；目前全球在晶圓自動化市場之前兩大供應商，分別是市佔率54％之Brooks Automation及市佔率14％之Genmark。