據外電報導，The Information Network最新報告指出，全球微影設備市場2002年規模將下滑至32億美元，出貨量亦將衰退達433台，不過2003年微影設備市場可望復甦，回復至43億美元的規模，比2002年增加25.6％，出貨量亦將成長達547台。

The Information Network總裁Robert Castellano表示，目前半導體廠商仍持續縮減設備採購支出，預估在2003年廠商積極進入90奈米生產製程的同時，也會增加高階設備的採購。

該報告也預估2002年全球微影設備商排名將出現異動──荷蘭ASML營收將超越日商Nikon，成為全球最大微影設備供應商；2002年ASML全球市佔率將達49％，Nikon將達36％，Canon則將達15％，並成為全球第三大微影設備供應商。

而若以出貨量為基準，ASML及Nikon 2002年微影設備出貨量將不相上下，約170台。該報告估計，2002年全球第一及第二大微影設備供應商的市佔率比重分別為41％、40％；Canon仍將居第三大供應商。