據外電報導，根據日本半導體製造設備協會（SEAJ）與國際半導體製造設備協會（SEMI）統計，2002年全球半導體製造設備銷售額，受到半導體廠抑制設備投資影響而大幅衰減，但幅度已較2001年減緩。

2002上半年度半導體製造設備市場長期處於低迷狀態，使得2002年全年度全球半導體製造設備銷售額僅約195.47億美元，較前年大幅減退30.3％，但相較於2001年高達41％的衰退，其幅度已有趨緩傾向。

以市場別來看，台灣地區因設備投資動作頻仍，2002年設備銷售額達35.36億美元，較2001年成長10.4％；但在其他地區的市場均為負成長，尤以日本、歐洲兩地衰退幅度最大，銷售額僅分別約38.64億、20.75億美元，各減少49.1％、45.7％。

其他如北美、南韓市場及包含大陸的亞太市場設備銷售額，則分別為58.79億、15.53億及26.37億美元。在設備別方面，晶圓製程處理用設備銷售額約為140.86億美元，較2001年減少32.9％，測試設備銷售額亦減至26.87億美元，衰退幅度達21％。