研究機構VLSI最新報告指出，由於全球半導體設備供應商因應景氣低迷所執行的撙節成本動作，使得半導體設備商的客戶服務滿意度呈現下跌現象；以VLSI所調查的服務滿意度滿分10點計算，2003年全球半導體設備供應商所得評分，平均較2002年下跌0.21點。

根據SBN網站引述VLSI報告指出，半導體設備商客戶服務滿意度較高的為ASML、Credence、Dainippon Screen、Hitachi、Schlumberger Verification Systems、Tegal以及TEL，而滿意度低的則包括Axcelis、Disco、Ebara、尼康（Nikon）以及Universal Instruments；同時，根據VLSI指出，就整體客戶服務滿意度而言，晶圓設備供應商的表現遠較往年來得差。

Hitachi與Tegal在VLSI的調查當中，名列客戶服務滿意度的榜首，日本廠商Hitachi在VLSI調查中，佔據大型設備供應商滿意度的第一名，而以專門性設備供應商滿意度而言，美國廠商Tegal則名列第一。根據VLSI指出，專門性設備供應商在客戶服務滿意度方面，一般而言得到較高的評分，由於該公司規模較小、且專注於特定設備產品，使得專門性設備供應商具有競爭的優勢，也因此在對客戶提供服務時，遠較大型半導體設備供應商更能切中客戶所需。

在幾個主要半導體設備產品領域（晶圓製程設備、測試與材料設備、組裝設備）方面，客戶服務滿意度高的廠商主要分佈在美國，佔42.6％，其次是歐洲廠商，佔31.9％，再來是日本廠商，佔了25.5％；此外，客戶服務滿意度排名前20名的設備供應商，有四成是美國廠商，而歐洲廠商與日本廠商各分居三成。