帳號:
密碼:
最新動態
產業快訊
CTIMES/SmartAuto / 新聞 /
因應5奈米 宜特推獨家去層方式避免Die損壞
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2020年03月29日 星期日

瀏覽人次:【3908】

為了協助客戶做好專利迴避、完整提出該層電路圖找異常點(Defect),宜特推出獨家晶片去層技術,將樣品如魔術般放大,直接在晶片封裝(Package)還存在的情況下進行去層工程,不僅可以大幅提升工程上的良率,完整提出電路圖,還可衍生應用在合金PAD、精密IC及其他無法取Die卻需要去層的晶片樣品上。

/news/2020/03/29/0906268410S.jpg

宜特觀察發現,隨著摩爾定律,製程演進至7奈米、5奈米甚至達3奈米,晶片裏頭的die,幾乎是接近螞蟻眼睛大小,一般人眼無法辨識。因此,希望藉由一般的晶片層次去除(delayer)來完整提取die裏頭每一層的電路,難度是非常高,硬是下去進行一般層次去除(delayer)技術的後果,不只是良率偏低,更可能發生連die都去除到不見遺失的窘境。

宜特說明,以往一般的取die後去層(Delayer)的技術,會因為樣品過小等因素,導致die不見或crack而無法進行製程分析;當無法去層(Delayer)到金屬層(Metal) M1時,記憶體(memory block)僅能以推測得知,電路模組分析圖亦無法完整繪製。

宜特的獨家去層技術,共分為三步驟,第一步驟,利用物理手法去除膠體,首先,在晶片封裝(Package)還存在的情況下,以物理方式去除晶片die正面多餘的膠體。相較以往須先去除package僅在裸die上去層,此法可在較大的面積/體積上施作,可大幅減少後續去層時die遺失的機率,並保持die面的平整度。

第二步驟則是機台去層,藉由離子蝕刻機,將IC護層(Passivation)與隔絕層(Oxide),用適當參數以離子蝕刻方式,將不需要的部份移除,藉由宜特獨家的控制參數方式,使得下層金屬層(Metal)不受傷。

第三步驟,藥液去層,IC護層(Passivation)被去除後,宜特再以藥水蝕刻,蝕刻該層需去除的金屬層(Metal),即可完整提出電路圖。

關鍵字: 宜特 
相關新聞
宜特再獲USB-IF授權 全面領航USB4、PD 測試
宜特推AI高速訊號解決方案 助力客戶通過高規驗證
宜特將啟用亞洲最完整的太空環境測試中心
宜特公佈7月合併營收逾3億元 AI為下半年增長的核心驅動力
宜特上半年營收新台幣21.22億 積極佈局AI驗證分析領域
comments powered by Disqus
相關討論
  相關文章
» SiC MOSFET:意法半導體克服產業挑戰的顛覆性技術
» 意法半導體的邊緣AI永續發展策略:超越MEMS迎接真正挑戰
» 光通訊成長態勢明確 訊號完整性一測定江山
» 分眾顯示與其控制技術
» 新一代Microchip MCU韌體開發套件 : MCC Melody簡介


刊登廣告 新聞信箱 讀者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 遠播資訊股份有限公司版權所有 Powered by O3  v3.20.2048.18.222.182.34
地址:台北數位產業園區(digiBlock Taipei) 103台北市大同區承德路三段287-2號A棟204室
電話 (02)2585-5526 #0 轉接至總機 /  E-Mail: webmaster@ctimes.com.tw