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吉时利扩充4200-SCS半导体特性分析系统功能
 

【CTIMES/SmartAuto 劉筱萍报导】   2010年03月09日 星期二

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美商吉时利仪器(Keithley Instruments)近日宣布,推出最新的4225-PMU Ultra Fast I-V模块,进一步扩充了4200-SCS半导体特性分析系统的功能选择。在4200-SCS既有的强大测试环境中整合了超快速的电压波形产生和电流/电压测量功能,可实现最广的电压、电流和上升/下降/脉冲时间动态量测范围,并提高了系统对新材料、组件和制程(process)进行特性分析的能力。

除此之外,利用4225-PMU可像进行直流测量一样轻松地提供I-V输出并量测之。其宽广的可程序化电压/电流源及量测范围、脉宽和上升时间,适合于对电压输出的速度有高度需求、且需要同步测量的应用—例如奈米CMOS或闪存。

吉时利表示,与之前需要多达三种不同测试平台,才能对组件、材料或制程进行充分特性分析的方案不同;4225-PMU其宽广的动态量测范围,只需一套仪器即可完成对组件、材料和制程的全方面特性分析。目前,实验室仅需安装一套灵活的系统,即可处理下列三种类型的量测:精密直流I-V测试(Model 4200-SMU)、交流阻抗(4210-CVU C-V仪器)和Ultra Fast I-V或Transient I-V测试(4225-PMU)。

每个4225-PMU模块提供了双信道、整合电压电流源和量测功能,且仅占用九插槽机架其中的一个插槽。每个机架最多可安装四个模块,实现最高8个超快速的电压电流源/量测信道。每个信道兼具高速电压输出(脉宽范围从60奈秒到直流)和同步电流与电压量测两大功能。这种模块为高速电压脉冲提供同步电流与电压量测,采集速率高达200 MS/s,具有14位模拟数字转换器(A/D),每个信道采用了两个A/D(每个模块含四个A/D)。用户可以选择两种电压源范围(±10 V or ± 40 V into 1 Mohm),以及四种电流量测范围(800 mA, 200 mA, 10 mA, 100 uA)。

每个4225-PMU模块可以配备多达两个可选购的4225-RPM远程放大器/开关,从而提供了四种额外的低电流范围,还有助于减少电缆电容效应(cable capacitance effect),并且支持在4225-PMU、4210-CVU和机架中其他SMU之间的自动切换。

關鍵字: 半导体特性分析系统  吉时利 
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