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吉時利擴充4200-SCS半導體特性分析系統功能
 

【CTIMES/SmartAuto 劉筱萍報導】   2010年03月09日 星期二

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美商吉時利儀器(Keithley Instruments)近日宣佈,推出最新的4225-PMU Ultra Fast I-V模組,進一步擴充了4200-SCS半導體特性分析系統的功能選擇。在4200-SCS既有的強大測試環境中整合了超快速的電壓波形產生和電流/電壓測量功能,可實現最廣的電壓、電流和上升/下降/脈衝時間動態量測範圍,並提高了系統對新材料、元件和製程(process)進行特性分析的能力。

除此之外,利用4225-PMU可像進行直流測量一樣輕鬆地提供I-V輸出並量測之。其寬廣的可程式化電壓/電流源及量測範圍、脈寬和上升時間,適合於對電壓輸出的速度有高度需求、且需要同步測量的應用—例如奈米CMOS或快閃記憶體。

吉時利表示,與之前需要多達三種不同測試平台,才能對元件、材料或製程進行充分特性分析的方案不同;4225-PMU其寬廣的動態量測範圍,只需一套儀器即可完成對元件、材料和製程的全方面特性分析。目前,實驗室僅需安裝一套靈活的系統,即可處理下列三種類型的量測:精密直流I-V測試(Model 4200-SMU)、交流阻抗(4210-CVU C-V儀器)和Ultra Fast I-V或Transient I-V測試(4225-PMU)。

每個4225-PMU模組提供了雙通道、整合電壓電流源和量測功能,且僅佔用九插槽機架其中的一個插槽。每個機架最多可安裝四個模組,實現最高8個超快速的電壓電流源/量測通道。每個通道兼具高速電壓輸出(脈寬範圍從60奈秒到直流)和同步電流與電壓量測兩大功能。這種模組為高速電壓脈衝提供同步電流與電壓量測,採集速率高達200 MS/s,具有14位元類比數位轉換器(A/D),每個通道採用了兩個A/D(每個模組含四個A/D)。使用者可以選擇兩種電壓源範圍(±10 V or ± 40 V into 1 Mohm),以及四種電流量測範圍(800 mA, 200 mA, 10 mA, 100 uA)。

每個4225-PMU模組可以配備多達兩個可選購的4225-RPM遠端放大器/開關,從而提供了四種額外的低電流範圍,還有助於減少電纜電容效應(cable capacitance effect),並且支援在4225-PMU、4210-CVU和機架中其他SMU之間的自動切換。

關鍵字: 半導體特性分析系統  吉時利 
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