是德科技（Keysight）日前推出第三代的Keysight P9000系列大规模并联叁数测设系统，可加速推动新技术的发展，并且降低先进半导体逻辑和记忆体IC的研发和制造成本。举例而言，新型元件结构和更高的效能，让每个先进技术节点（小於或等於20 nm）所需的叁数测试资料急遽增加。

最新的叁数测试解决方案使用「TRUE」叁数接脚架构，并利用增强的直接电荷量测技术大幅提高测试速度

Keysight P9000可使用专用的接脚测试单元模组，在矽晶圆上进行100-pin多元件并联测试。该模组具有叁数测试所需的所有基本量测功能，例如电压、电流、电容、脉冲和频率。此外，直接电荷量测（DCM）技术使得高速100-pin并联电容量测变得可能。

第二代P9000包含是德科技研发的快速Vt量测技术，可提供单次临界电压（Vt）量测，因此量测速度比任何传统测试方法快了四倍以上。除了100-pin并联量测外，DCM和高速Vt量测技术所提供的更快速单一叁数量测，进一步增进了测试速度。因此，先进晶圆代工厂和记忆体制造商纷纷采用第一代和第二代P9000平台作为他们的下一代叁数测试解决方案。

随着第三代P9000的问世，加上Keysight P9015A接脚叁数测试模组的辅助，该测试仪进一步缩短了电容量测时间，并解决因多层互连和新元件架构导致电容测试量增加的问题。新模组使用增强的DCM技术，可量测泄漏电容，将单一电容量测速度大幅提升了两倍以上。相较於传统的LCR量测仪器，它与各种类型的电容都有很好的资料相容性。此外，100-pin并联电容量测也让客户得以显着提高量测速率量。

台湾是德科技总经理张志铭表示：「目前已有数百台Keysight P9000被全球半导体公司用於研发和量产，例如先进的逻辑晶圆厂和记忆体制造商。是德科技将持续增强P9000，以降低客户的上市时间和测试成本。第三代P9000提供最快的并联叁数测试解决方案，具有100接脚的TRUE叁数接脚模组，即使在传统测试系统的测试结构中也能快速运作。」