應用材料公司表示，為協助晶圓製造廠創造更高的效率與生產力，該公司在不到4年的時間內，陸續推出量測與檢驗系統，包含已經推出的VeraSEM 3D量測系統、SEMVision缺陷再檢系統(Defect Review System)，與日前推出的Compass和Excite檢測系統，應用材料表示，如此將可協助晶圓製造廠大幅改善其生產良率及生產力。

應用材料總裁Dan Maydan表示，隨著晶片幾何密度越變越高，即使是再微小的缺陷都可能會造成重大的影響，因此製程分析與回饋在晶圓製造廠內也就顯得更加重要。此次所新推出的自動化量測與檢測系統功能，將可大幅提升製程診斷所扮演的角色，並增加晶圓廠的獲利能力。截至目前為止，應用材料公司已推出多項技術，協助客戶提高其晶片設計的良率。