FormFactor公司宣布针对DRAM市场，推出新一代12吋全晶圆接触探针卡─SmartMatrix 100探针卡解决方案。该方案结合运用FormFactor MicroSpring微机电专利（MEMS，Micro Electromechanical Systems）之接触技术的探针卡架构，能够协助DRAM制造商克服快速、生产导入支持先进产品发展蓝图之需求，以及降低测试成本等各种挑战。

新一代12吋全晶圆测试解决方案

FormFactor表示，SmartMatrix 100探针卡专为5x奈米制程的DDR2与DDR3行动装置组件与一般DRAM组件所设计，不仅能带来卓越的侦测效能，更能让DRAM制造商延长现有测试设备的使用年限，并可有效节省额外的资出成本。

SmartMatrix 100探针卡植入温度控制效能设计，让探针卡能快速达到所需测试的温度。此外，温度效能设计可支持双重温度作业，并确保晶圆间更换作业时的温度稳定性，以协助新平台在严苛的测试环境中，仍能维持最佳的运作性能。此外，该功能亦可让新款探针卡在处理更小的焊垫与焊垫(Pad)间距同时，亦能提供一贯稳定的刮痕（Scrub Mark），亦可弥补因探针卡或针测头不稳所产生的误差，以提高整体针测卡的可运作时间（Uptime）。

该款新方案几乎解决传统全晶圆针测卡所面临的高温挠曲（Thermal Bow）效应，也就是在所有作业温度范围内，均能维持高针测精准度和一致的刮痕（Scrub Mark）。同时，FormFactor亦提供RapidSoak技术作为选购方案之一，RapidSoak可协助SmartMatrix 100探针卡进一步缩短停置时间（Soak Time）。