FormFactor公司宣布針對DRAM市場，推出新一代12吋全晶圓接觸探針卡─SmartMatrix 100探針卡解決方案。該方案結合運用FormFactor MicroSpring微機電專利（MEMS，Micro Electromechanical Systems）之接觸技術的探針卡架構，能夠協助DRAM製造商克服快速、生產導入支援先進產品發展藍圖之需求，以及降低測試成本等各種挑戰。

新一代12吋全晶圓測試解決方案

FormFactor表示，SmartMatrix 100探針卡專為5x奈米製程的DDR2與DDR3行動裝置元件與一般DRAM元件所設計，不僅能帶來卓越的偵測效能，更能讓DRAM製造商延長現有測試設備的使用年限，並可有效節省額外的資出成本。

SmartMatrix 100探針卡植入溫度控制效能設計，讓探針卡能快速達到所需測試的溫度。此外，溫度效能設計可支援雙重溫度作業，並確保晶圓間更換作業時的溫度穩定性，以協助新平台在嚴苛的測試環境中，仍能維持最佳的運作性能。此外，該功能亦可讓新款探針卡在處理更小的銲墊與銲墊(Pad)間距同時，亦能提供一貫穩定的刮痕（Scrub Mark），亦可彌補因探針卡或針測頭不穩所產生的誤差，以提高整體針測卡的可運作時間（Uptime）。

該款新方案幾乎解決傳統全晶圓針測卡所面臨的高溫撓曲（Thermal Bow）效應，也就是在所有作業溫度範圍內，均能維持高針測精準度和一致的刮痕（Scrub Mark）。同時，FormFactor亦提供RapidSoak技術作為選購方案之一，RapidSoak可協助SmartMatrix 100探針卡進一步縮短停置時間（Soak Time）。