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FormFactor 推出Harmony XP 晶圓探針卡
業界首款兩次接觸即可完成的12吋DRAM晶圓偵測解決方案

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨報導】   2007年03月01日 星期四

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FormFactor推出Harmony XP 探針卡,擴增其Harmony系列全區域12吋晶圓探針卡產品陣容,先進的晶圓偵測解決方案支援高密度行動通訊、一般商品、以及繪圖產品專用DRAM元件,為每粒晶圓帶來最低整體測試成本。專為這些裝置之高標準技術挑戰而量身設計的Harmony XP 探針卡,以俾使DRAM製造商達到其在更高針腳數、時脈、平行化測試,以及縮減銲墊與間距尺吋的產品藍圖需求。

FormFactor 推出Harmony XP 晶圓探針卡(圖片提供:FormFactor )
FormFactor 推出Harmony XP 晶圓探針卡(圖片提供:FormFactor )

精心設計的Harmony XP探針卡,充份運用先進測試儀器的各項資源 (受測晶粒數量高出384 倍以上),達到最高的平行處理效率,僅須兩次接觸測試,就能偵測12吋1GB DRAM晶圓。

Form Factor 執行長埃格坎卓斯(Dr. Igor Khandros)表示:「為因應全12吋晶圓測試的新時代,我們的客戶需要理想的晶圓偵測解決方案,能同時支援元件尺吋縮小、提高接觸測試效率以及測試單元使用率的完整系統方案。Harmony這個平台能達到顧客最先進的測試需求,透過未來的創新與研發,在最低的總持有成本之上,提供一個明確的管道,進行一次接觸即完成的12吋DRAM晶圓測試。」

Harmony XP晶圓探針卡結合了FormFactor生產驗證的MicroSpring®技術,以支援高度平行化的測試作業。探針卡創新的彈簧型設計,讓Harmony XP探針卡能支援超過5萬個MircoSpring接觸點,使其可測試高密度的行動裝置專用DRAM以及各種繪圖元件。

FormFactor的MicroSpring探測器提供極低的接觸阻抗,達到最佳的電子性能,僅須極少量的清潔保養,就能提高探針卡的可用度並維持更高的測試單元正常運作時間。

為協助DRAM製造商轉移至65奈米以下設計規格,同時達到更低的功耗以及更嚴苛的電子性能要求,Harmony XP架構將允許銲墊間距縮小至60微米,並在銲墊尺吋可縮小至55微米達到最佳的訊號完整性。此外,Harmony XP解決方案更積極地發展進一步縮小尺吋的產品藍圖。Harmony XP探針卡提供一個能支援300 MHz的測試頻率選項方案,不僅能縮短測試時間,亦能支援各種已知良好晶粒(KGD)的應用 – 這類領域中,高頻率測試功能是不可或缺的。

減少探針卡在測試所有元件的接觸測試次數,長久以來一直協助業者大幅降低DRAM的整體測試成本。雖然整體降低測試成本,但轉移至12吋晶圓測試流程,亦促使業者需要提高測試單元的正常運作時間。以快閃記憶體專用的FormFactor Harmony OneTouch探針解決方案為例,Harmony XP解決方案搭載許多先進平坦化功能,是達成先進DRAM測試需求的重要條件。Harmony XP的整體系統方案亦提供探針卡的傾斜調整機制,縮短探針卡的設定時間,進而提高測試單元的生產力。

坎卓斯表示:「我們的Harmony OneTouch解決方案自從在去年推出以來,就協助許多快閃元件製造商降低整體測試成本。如今我們將Harmony系統層級方案所帶來的相同利益,帶入到先進12吋DRAM製造環境。」FormFactor 現已開始接受Harmony XP探針卡的訂單。

關鍵字: FormFactor   半導體製造與測試 
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