隨著半導體產業不斷尋求朝20/14奈米製程發展之際,電子驗證測試產業-iST宜特科技在材料分析不缺席。iST宜特今(5月12號)宣布除了佈建目前業界EDS元素分析能力最強的TEM設備:JEM-2800外,更和成大微奈米中心進行材料分析技術開發合作,同時聘請該中心副研究員、國內頂尖TEM權威-鮑忠興博士擔任顧問,設備與技術能量一次到位。
![左圖為宜特分析市面上最先進之「22奈米三維電晶體」的高解析TEM影像;右圖則為分析「LED磊晶結構」之高解析TEM及EDS影像。](/news/2014/05/12/1702464750S.jpg) |
左圖為宜特分析市面上最先進之「22奈米三維電晶體」的高解析TEM影像;右圖則為分析「LED磊晶結構」之高解析TEM及EDS影像。 |
即日起,iST宜特更採全天候三班制24小時運作,全面縮短交期,大躍進產能,展現衝刺材料分析的決心,提供客戶最快速且高端材料分析服務。
為了回饋長期以來支持iST宜特的客戶,即日起至6月底以前,只要來宜特委案TEM上機觀察分析服務,即享半價優惠。
iST宜特觀察發現,企業為了打造效能更高、功耗更低、體積更小的半導體元件以滿足現今智能產品之需求,各大廠在先進製程開發的腳步越來越快,包括Intel率先進入22奈米製程量產、台積電與三星陸續進入20奈米量產,而聯電則從28奈米跳過20,直接研發14奈米製程。
iST宜特材料分析經理 陳聲宇博士說明,先進半導體製程的開發是否到位,材料之結構與元素分析能力往往是關鍵,尤其當製程進入28奈米以下世代,許多傳統分析儀器將面臨瓶頸,此時可達原子級解析度的TEM將是分析上的唯一解決案。
除了在半導體產業的應用外,材料分析在LED產業亦扮演重要角色,決定LED發光特性最關鍵的磊晶製程,就必須高度仰賴TEM來控制製程參數。
陳聲宇進一步指出,在TEM各種應用中,近年來又以EDS元素分析需求最為強勁。iST宜特近期導入JEOL最高階的JEM-2800 TEM設備。同時配置有2顆100平方毫米的超大面積EDS偵測器,訊號接收總面積高達200平方毫米,效能遠超過業界先前最高階機型(其訊號收集面積為120平方毫米),將會是客戶在面臨製程問題時的最好幫手。
「目前宜特已陸續完成各產業客戶,包括知名晶圓廠與LED磊晶廠的分析試樣,突破至14奈米製程,客戶對結果相當滿意。」陳聲宇表示。
宜特科技董事長 余維斌表示,宜特整兵備戰,積極拓展材料分析戰線,致力追求更先進的製程驗證能力,昂首闊步為客戶可能有的需求做好準備,成為客戶迎向成功的最重要伙伴。