利用碳纖維奈米管技術,能強化現今的運輸盒解決方案,Entegris 開發出 STAT-PRO 9000 碳纖維奈米管,增強 PEEK碳化合物運輸承載盒解決方案,以更高價值的 PEEK 運輸承載盒,來滿足半導體市場的需求。半導體製造商要求可混合運行 (高度互通於現有的運輸承載盒安裝基礎)、價位降低的運輸承載盒解決方案,其效能應等同於 (或優於) 傳統的PEEK運輸承載盒解決方案;新一代 STAT-PRO 9000 運輸承載盒採用混合運行解決方案,可滿足日益增長的市場需求,而且效能與價格都優於傳統 PEEK 運輸承載盒。
相較於傳統 PEEK 運輸承載盒解決方案,STAT-PRO 9000 新一代運輸承載盒可嚴格控制表面電阻的波動,提供出色的靜電放電保護,並改善了抗磨損性及吸濕性,達到極低的釋氣有機分子污染等級,且在極高溫之下也有良好的彎曲和拉伸強度。Rossi表示,「能夠實現上述優勢並且提升效率,應歸功於我們正在申請專利的材料,其生產製程均受到嚴格控管。」Stat-Pro 9000 運輸承載盒適用於所有晶圓大小。
下圖表列出 STAT-PRO 9000 運輸承載盒的特性以及在半導體製程中的優勢。
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