關注地球環保的京都議定書啟動，我國半導體產業如何因應？新竹科學園區同業公會環境保護委員會召集人范光榮表示，其實早在1999年，台灣半導體產業協會即依世界半導體協會（WSC）規定，簽署全氟碳化物排放減量協議書，協議書中承諾各廠商在2010年全氟化物排放量要控制在1998年時的排放量，不得成長。

據了解，為因應京都議定書，半導體產業早在2000年時即開始進行改善方案，包括設備更新及找尋替代化學品；范光榮表示，現行半導體廠改善的方法大概可分為二種，一是朝減少污染排放量著手，包括管路末端污染設施改善、空氣污染防制設備更新、以及將既有處理方式由過濾回收改為燃燒式，以有效降低污染排放量。另一方法則是找替代性氣體，將過去污染較嚴重的六氟乙烷，改以全氟丙烷)等污染量較小的氣體取代。

范光榮表示，台灣擁有6吋到12吋新舊不等的晶圓廠，減量排放污染對廠商而言的確是一挑戰，因舊廠在減量污染配套措施上比較麻煩，汰換既有管線進行新式防治污染設備改善工程就較費工，估算一座8吋廠投資改善約要花新台幣3000到4000萬元。

但范光榮強調，台灣半導體廠商早已自發性配合污染防制，進行各種改善工程，因此京都議訂書並不會對台灣半導體產業造成立即性的衝擊。