經濟部長林信義傾向以專案審查方式，開放國內半導體廠赴大陸投資八吋晶圓廠。不過由於央行與陸委會仍有意見，據了解，未來八吋晶圓廠在專案審查時，建廠資金是否能在海外籌措，將是政府是否能放行的重要考量。

目前國內半導體廠擴廠計畫中，除了旺宏的八吋晶圓廠仍在興建外，茂德、力晶、矽統、台積電與華邦所規劃的新廠，都以十二吋晶圓廠為主。為了因應半導體廠商強烈的需求，經濟部日前在部長林信義的同意下，已建議政府以專案審查的方式，開放國內半導體業者赴大陸投資八吋晶圓廠。

不過，陸委會與央行目前仍未同意該項建議案，尤其央行認為，目前投資一座八吋至少需要十億美元，也就是三百三十億元以上，若國內半導體業者利用國內股票市場募集資金，在大陸投資三座八吋晶圓廠，新台幣資金立即失血一千億元。由於新台幣貶值壓力已相當沈重，若再無限制的開放八吋晶圓廠赴大陸投資，將造成國內資金加速外流大陸，對台灣的經濟發展不利。