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致茂電子在SEMICON Taiwan首推SuperSizer溶液奈米粒子監測系統
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2018年09月05日 星期三

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致茂電子今年於SEMICON Taiwan將會實機展出SuperSizer溶液奈米粒子監測系統,現場可親自體驗鷹眼級的測試設備。

半導體製程技術以極快的速度進步到10奈米、7奈米線寬,在不久的將來更將到5奈米甚至於3奈米。影響製程良率甚鉅的奈米粒子監控技術現有技術只能勉強監控大於20奈米的粒子,遠遠不及產線需求。

致茂集團旗下的兆晟奈米科技推出製程良率改善利器SuperSizer奈米粒子監測系統,提供客戶對製程液體裡小於20奈米的粒子大小及分布,並具有24小時即時監控的能力,能有效防範奈米缺陷形成於未然,大幅改善良率。

關鍵字: 致茂 
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