致茂電子今年於SEMICON Taiwan將會實機展出SuperSizer溶液奈米粒子監測系統，現場可親自體驗鷹眼級的測試設備。

半導體製程技術以極快的速度進步到10奈米、7奈米線寬，在不久的將來更將到5奈米甚至於3奈米。影響製程良率甚鉅的奈米粒子監控技術現有技術只能勉強監控大於20奈米的粒子，遠遠不及產線需求。

致茂集團旗下的兆晟奈米科技推出製程良率改善利器SuperSizer奈米粒子監測系統，提供客戶對製程液體裡小於20奈米的粒子大小及分布，並具有24小時即時監控的能力，能有效防範奈米缺陷形成於未然，大幅改善良率。