因應5G與高效能運算先進製程商機，半導體設備產業需求強勁，工研院與臺灣機械工業同業公會及德國創浦集團（TRUMPF）三方也在今（2）日簽署合作意向書（MOU），在經濟部部長王美花與德國經濟辦事處處長林百科（Axel Limberg）見證下，宣示將攜手成立「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」。結合德國最先進的高階雷射源，搭配國產客製化的大銀微平台與工研院的製程光路模組，為臺灣半導體設備商提供關鍵升級技術，協助臺灣的半導體產業更添戰力。

圖前排由右到左為工研院協理吳誠文、機械公會理事長柯拔希及台灣創浦總經理鄭勇志。

經濟部長王美花表示，該合作案對臺灣產業有三個重大的意義：首先，德國創浦集團是艾司摩爾(ASML)EUV設備極紫外光雷射源的供應夥伴，在雷射源及工具機的產值皆為全球前三，可為臺灣產業帶來一個非常大的盟友；第二個重要意義是，創浦帶來先進技術、機械公會帶來客戶，工研院有系統整合的能力，將帶起整體產業技術服務能量，為臺灣雷射設備產業發展帶來新契機；第三個意義是在半導體後段封裝製程當中，如何盡可能不損壞晶粒，完成晶圓切割，雷射源的好壞將直接影響加工品質。但是高階雷射源設備成本高、測試開發時間漫長，現在則可藉此中心讓有需要導入高階雷射源的業者打樣測試，搶占商機。

機械公會理事長柯拔希表示，2020年受到新冠肺炎疫情影響，全球經濟陷入困境，以機械產業來看，全球機械產業皆陷入衰退，臺灣機械業 1~7月出口值為144.8億美元，也較上年同期減少10.0%。不過，令人驚喜的是檢量測設備較2019年同期成長5.1%，電子設備較上年同期成長2.5%，顯示臺灣在半導體電子產業與相關設備仍具全球競爭力。

由於雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接和各式精微加工應用等，無論是對品質可控的要求、對先進加工和生產效率的需求，還是最終構建成人機互動的智能工廠，對我國機械產業之長遠發展非常重要，期許未來三方合作提供國內產業應用發展不可或缺的平台，減少各公司重複投資與提升技術研發效率，相信可成為推動我國製造業轉型升級以及提升產品附加值的重要關鍵技術。

台灣創浦總經理鄭勇志進一步表示，雷射加工相關設備與應用需求愈來愈廣，創浦集團除與國際半導體設備大廠ASML共同合作開發的極紫外光EUV光刻機外；自行研發製造的超快飛秒fs/皮秒ps先進雷射源技術，更是在微加工領域廣受國際電子設備大廠採用，是當前「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的設備。

臺灣是全球半導體重點市場之一，創浦集團繼今年在南科與合作夥伴共同成立技術培訓中心，此次進一步參與臺灣半導體設備產業的合作，將持續為高科技業導入最新雷射技術，期盼透過臺德雙方之技術合作，強化臺灣國際競爭力，共創新商機。

工研院協理吳誠文表示，未來的新興科技應用發展，從底層終端裝置、聯網器，到最上層雲端平台架構，皆須仰賴半導體技術的基礎做後盾，在工研院推動的2030技術策略與藍圖中的永續環境領域，也以此為發展的重點之一。

機械公會擁有國內主要的設備供應商會員，創浦則為世界第一大雷射廠商，掌握眾多高階雷射源產品，未來結合工研院深耕多年的高功率雷射加工或是精微雷射加工製程，可望在臺灣研發出半導體與電子產業專用的高階雷射源及設備，擴大國內半導體設備產業供應鏈的國際輸出。身兼工研院南分院執行長的吳誠文表示，過去國際大廠來臺投資偏向於設在北部，此次規畫的「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」將進駐工研院六甲院區，希望拋磚引玉帶動更多高科技研發中心在南臺灣設立據點。

由機械公會、德國創浦集團與工研院打造的先進雷射應用服務中心，將提供設備廠商快速測試打樣的機會，透過引進德國創浦的高階精微加工雷射源，由工研院依據製程需求客製開發光學與控制模組並進行系統整合，完成後可以迅速與機械公會會員移機到客戶端進行生產測試。此中心預計將於今年底前設置完成，將帶來一個嶄新、快速的設備供應模式，協助國內設備商以雷射應用強化非接觸精微加工設備供應，鞏固臺灣半導體在全球供應鏈的地位。