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Soitec與ASM International合作研發應變絕緣矽 |
【CTIMES/SmartAuto 蘇沛榕
報導】 2003年07月25日 星期五
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Soitec與ASM International N.V.宣佈在應變絕緣矽(sSOI)的合作計畫上達成一項重要的里程碑,此項合作計畫成功在65奈米環境試產第一代應變矽晶圓。Soitec與ASM自今年5月起開始合作,此項計畫目前著重於微調sSOI製程以達基板效能最佳化,提高生產力及成本效率,進而加快完全商業化8吋應變SOI晶圓及最終12吋晶圓產品的上市時程。Soitec新系列應變SOI基板的第一款產品包含提供應變矽層植生的絕緣矽鍺(SGOI)樣板基板。這些SGOI晶圓是針對部份及完全匱乏應用所設計,能夠協助半導體產業提升元件效能,同時縮小線寬與提升晶片密度。Soitec後續推出的新世代應變矽晶解決方案將包括鍺成份更高的SGOI、無矽鍺模板層的應變矽晶及鍺絕緣層等,並且都將針對45奈米以下的環境進行研發。為配合磊晶模組研發時程,加速推出8吋與12吋 SGOI晶圓樣本,Soitec 與ASM採 「虛擬晶圓廠」模式。雙方研發團隊先針對磊晶量產環境合作微調出最佳製程,再各自於雙方廠房試產晶圓。此種 「虛擬晶圓廠」模式協助Soitec快速推出試產樣本,縮短建置量產環境基礎建設的時程。待磊晶設備完成安裝,生產技術亦趨成熟後,將於Soitec位於法國Bernin的廠房,也就是目前全球最大的SOI廠開始量產 。
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關鍵字:
Soitec
ASM International N.V.
Soitec
總裁暨執行長
Andre Auberton-Herve
系統單晶片
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