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傳中芯國際將進軍光罩市場 業界反應不一
 

【CTIMES/SmartAuto 鄭妤君 報導】   2003年03月26日 星期三

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據電子時報報導,業界傳出中國大陸晶圓業者中芯國際,將提供該公司因訂單不足而無法充分利用的光罩曝光設備(writer),開始承接「純光罩訂單」,光罩業者擔憂此一消息若屬實,可能直接衝擊大陸光罩市場。但亦有業界意見指出,中芯承接光罩訂單並不符合經濟效益,也可能會使客戶對其保密條件產生質疑,中芯的另闢財源之路恐難順利。

該報導指出,在大陸僅中芯擁有自己的光罩廠,其他晶圓廠的光罩都是由專業光罩廠提供;目前中芯共有4台光罩曝光設備、1台電子束曝光機、3台雷射曝光機,技術水準都是0.18微米製程,可擴充至0.15微米製程。但因為中芯現有產出量約2.5萬片,其中大多數產出是DRAM,由於DRAM製程屬於標準大量生產,對於光罩的依賴程度不如邏輯代工產品來得重要,因此,中芯的光罩曝光設備利用率並不佳。

由於0.18微米製程的曝光設備昂貴,將設備閒置不如承接光罩訂單,據業者指出,中芯已計劃將對外接純光罩訂單,如此一來中芯與原本是上、下游關係的光罩廠,因而成為競爭對手。目前大陸光罩市場方面,上海杜邦擁有一半以上市場佔有率,其他則是國資企業及一些研究所,以及小部分是台灣光罩提供。中芯若承接光罩訂單,恐對大陸光罩產業的市場價格產生衝擊。

但亦有業者意見指出,目前大陸半導體主流技術是0.5~0.6微米製程,大陸本土IC設計公司對於0.25微米製程技術仍屬陌生,若中芯接光罩訂單,可能是將高階曝光設備製造低階光罩產品,如此作法相當不符合經濟效益。此外因為光罩製作與微影製程密不可分,除了是重要技術外,客戶的電路圖也必須保密,這是專業光罩廠必須向客戶保證的最重要先決條件,若中芯的光罩部門另外承接光罩訂單,客戶將會質疑其保密條件,預計中芯這條路將走的辛苦。

關鍵字: 中芯  其他電子邏輯元件 
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