據中央社報導，為提供台灣業者發展先進製程技術所需的研發實驗環境，並建立微機電資訊交流機制、提昇台灣微機電產業競爭力，工研院電子工業研究所將於2003年 1月21日成立「微機電系統技術使用者聯盟」，提供微機電研究單位與上下游業界間的交流管道。

工研院電子所所長徐爵民表示，工研院已建構完整的微機電技術平台及實驗室基礎環境，為充分運用微機電相關技術的研發能量，強化微機電產業上下游的交流，工研院電子所成立「微機電系統技術使用者聯盟」，以該所微機電技術實驗室為基礎，提供相關設備與技術平台，協助業界加速其產品與技術的開發。

對於該聯盟，台灣微機電相關如材料、設備、IC設計、製造及系統等廠商、學校及研究單位均表達高度興趣，目前已有20餘家確認加入聯盟，包括亞太優勢系統、華新麗華、晶宇生技、明碁及台達電等公司，學研界則有成功大學、大同大學及工研院光電所等。

工研院電子所微系統技術組組長黃新鉗指出，「微機電系統技術使用者聯盟」將採會員制，規劃中的聯盟主要活動包括：前瞻研發成果的分享與微機電實驗室製程與設備的提供等，而針對特殊技術開發需求，也將組成研究群SIG（Special Interest Group）。目前已先後成立共用晶片（Common Chip）及共同實驗室（Common Lab.）等研究群。Common Chip SIG主要為推廣微機電標準製程，提供技術服務及設備支援，並享有投片的優惠，不僅提升會員技術能力，更能協助會員加速開發產品的時效及其成功率。